Teflonbelagt keramisk endeeffektor – ikke-klebende overflate for håndtering av sensitiv wafer
St.Ceras Teflon (PTFE)-belagte keramiske endeeffektor kombinerer et høyfast alumina-substrat med et jevnt PTFE-belegg med lav friksjon (tykkelse 15–30 μm). Belegget gir en ekstremt lav friksjonskoeffisient (≤0,1), utmerket kjemisk motstand og ikke-klebende egenskaper, noe som forhindrer waferadhesjon og eliminerer forurensning på baksiden. Det underliggende keramiske substratet (99,8 % Al₂O₃) har høy bøyestyrke (361–1000 MPa), slitestyrke og termisk stabilitet opptil 260 °C (belegggrense). Denne endeeffektoren er ideell for håndtering av delikate, tynne eller klebrige wafere (f.eks. etter fotoresistbelegg eller kjemiske prosesser).
Spesifikasjoner (basert på 99,8 % Al₂O₃-substrat med PTFE-belegg):
| Eiendom | Verdi |
| Underlagsmateriale | 99,8 % aluminiumoksid (elfenben) |
| Beleggmateriale | PTFE (Teflon) |
| Beleggtykkelse | 15–30 μm |
| Friksjonskoeffisient (belagt) | ≤0,1 |
| Underlagets bøyningsstyrke (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Underlagshardhet (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Substrattetthet | 3,93 g/cm³ |
| Maks. driftstemperatur (belegggrense) | 260°C |
| Overflateruhet (før belegg) | Ra ≤0,4 μm |
| Dielektrisk styrke (substrat) | 15×10⁶ V/m |
Merk: PTFE-belegg begrenser maksimaltemperaturen til 260 °C. For bruk ved høyere temperaturer bør ubelagt keramikk eller andre belegg vurderes.
Bruksområder:
- · Håndtering av wafere etter fotoresistbelegg (klebrige overflater)
- · Overføring av tynne eller skjøre skiver (forhindrer at de fester seg)
- · Verktøy for inspeksjon og metrologi av halvledere
- · Renromsautomatisering der partikkelforurensning må minimeres
Produksjonsprosess:
Sintret og presisjonsslipt keramisk substrat → overflateruhet (plasmaetsing eller sandblåsing) → PTFE-sprøytebelegg → varmeherding ved 380 °C → sluttinspeksjon. Hver endeeffektor kontrolleres for beleggtykkelse (virvelstrøm), vedheft (tverrsnittstest ASTM D3359) og friksjonskoeffisient.
Kvalitetskontroll:
100 % visuell inspeksjon for hull eller bobler; beleggtykkelsen er jevn innenfor ±5 μm; ingen delaminering etter 90° bøyetest på vitneprøvestykke. Dimensjonskontroll i henhold til OEM-toleranse (lengde ±0,05 mm, flathet ≤0,1 mm).
Fordeler fremfor ubestrøket eller andre belegg:
- · Non-stick overflate forhindrer at skivene fester seg og brekker
- · Laveste friksjonskoeffisient blant keramiske belegg
- · Utmerket kjemisk resistens (syrer, baser, løsemidler)
- · Reduserer partikkelgenerering ved å forhindre materialoverføring
Begrensninger (merknader om materialavvik):
PTFE-belegget er ikke avledet fra de oppgitte materialegenskaperstabellene (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Substrategenskapene følger strengt det oppgitte databladet (99,8 % Al₂O₃). Beleggegenskapene er basert på industristandard PTFE-spesifikasjoner, da det ikke ble oppgitt noen beleggdata. For applikasjoner over 260 °C anbefales en ubelagt keramisk endeeffektor.*
Tilpasning:
Tilgjengelig i lengder 150–1500 mm, spissformer (kantgrep, Bernoulli, flat), monteringsflensmønstre i henhold til OEM-tegning. Delvis belegg (kun kontaktområder) eller full dekning valgfritt.
Be om en prøve for testing av heft og friksjon.
