-
Storformat aluminiumoksid keramisk plate for halvleder- og industrielle armaturer
St.Cera produserer keramiske plater i storformat av 99,8 % høyrens aluminiumoksyd (Al₂O₃) med maksimale dimensjoner opptil 1500 mm i lengde og 600 mm i bredde. Våre presisjonsslipeegenskaper oppnår en flathet på 0,003 mm over 100 mm og en parallellitet på 0,002 mm, noe som sikrer jevn overflatekvalitet for store applikasjoner. Tykkelse opptil 100 mm, overflatefinish ned til Ra0,1. Disse platene fungerer som vakuumchuckbaser, varmeplater, elektriske isolasjonspaneler og prosesskammergulv i halvleder-, display- og solcelleproduksjon. Gjennomgående hull, forsenkninger og kantprofilering er tilgjengelig.
-
ST.CERA Tilpasset halvleder Keramisk foring
Den kritiske prosessen i halvlederfeltet må utføres i renrom, spesielt for enheter som skal brukes under forhold med høy temperatur, vakuum og korrosiv gass. Keramikk kan opprettholde høy stabilitet i kompliserte fysiske og kjemiske miljøer.
-
ST.CERA Tilpasset halvlederutstyr Keramiske chucker
Den kritiske prosessen i halvlederfeltet må utføres i renrom, spesielt for enheter som skal brukes under forhold med høy temperatur, vakuum og korrosiv gass. Keramikk kan opprettholde høy stabilitet i kompliserte fysiske og kjemiske miljøer.
-
ST.CERA Tilpasset halvlederutstyr Keramisk plate
De kritiske prosessene i halvlederfeltet må utføres i renrom, spesielt for enheter som skal brukes under forhold med høy temperatur, vakuum og korrosiv gass. Keramikk kan opprettholde høy stabilitet i kompliserte fysiske og kjemiske miljøer.
-
ST.CERA Tilpasset halvleder Keramisk fokusring
Den kritiske prosessen i halvlederfeltet må utføres i renrom, spesielt for enheter som skal brukes under forhold med høy temperatur, vakuum og korrosiv gass. Keramikk kan opprettholde høy stabilitet i kompliserte fysiske og kjemiske miljøer.
-
ST.CERA tilpasset halvleder keramisk fokusring
De keramiske reservedelene er laget av høyrent alumina-keramikk (over 99,5 %), dannet ved kald isostatisk pressing og sintret under høy temperatur, deretter presisjonsbearbeidet og polert. De keramiske reservedelene kan oppfylle alle strenge krav til halvlederutstyr med sine egenskaper som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, lav termisk ekspansjon og isolasjon.
Med egenskaper som høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, slitestyrke og isolasjon, kan keramikk fungere i mange typer halvlederproduksjonsutstyr med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass i lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
-
ST.CERA tilpasset halvleder presisjonsalumina keramisk foring
De keramiske reservedelene er laget av høyrent alumina-keramikk (over 99,5 %), dannet ved kald isostatisk pressing og sintret under høy temperatur, deretter presisjonsbearbeidet og polert. De keramiske reservedelene kan oppfylle alle strenge krav til halvlederutstyr med sine egenskaper som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, lav termisk ekspansjon og isolasjon.
Med egenskaper som høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, slitestyrke og isolasjon, kan keramikk fungere i mange typer halvlederproduksjonsutstyr med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass i lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
-
Komponenter for halvlederutstyr for endeeffektorer i aluminiumoksidkeramikk
Unngå partikler som kan dannes fra skråkanten eller de vinklede kantene og bakoverflaten mens wafere transporteres eller er i kontakt med endeeffektoren/håndteringsarmen.
For føringene er det brukt et mykt materiale som ikke skader waferen.
Tynning er mulig med ST.CERAs innebygde vakuumkanalteknologi som ikke bruker lim.
Mulig å lage monteringshull og endre lengden og bredden på basen der endeeffektoren/håndteringsarmen er montert på roboten.
Montering av sensorer, skruer og braketter er tilgjengelig som tilleggsutstyr.
Beregnet for bruk i atmosfæren.
-
Høytemperaturbestandige presisjonsalumina keramiske strukturkomponenter
Keramiske strukturdeler er en generell betegnelse på ulike kompliserte former for keramiske deler. De formes ved tørrpressing eller kalde isostatiske pressinger, sintres under høy temperatur og bearbeides deretter med presisjon.
Laget av høyrens aluminiumoksidpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturbestandighet 400 ℃~800 ℃.
-
Høypresisjons- og kompleks keramikk for keramiske strukturkomponenter av alumina
Keramiske strukturdeler er en generell betegnelse på ulike kompliserte former for keramiske deler. De formes ved tørrpressing eller kalde isostatiske pressinger, sintres under høy temperatur og bearbeides deretter med presisjon.
Laget av høyrens aluminiumoksidpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturbestandighet 400 ℃~800 ℃.
-
Reservedeler for mekanisk utstyr av aluminiumoksidkeramiske strukturkomponenter
Keramiske strukturdeler er en generell betegnelse på ulike kompliserte former for keramiske deler. De formes ved tørrpressing eller kalde isostatiske pressinger, sintres under høy temperatur og bearbeides deretter med presisjon.
Laget av høyrens aluminiumoksidpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturbestandighet 400 ℃~800 ℃.
-
Alumina keramisk stripe isolerende keramiske strukturelle komponenter
Keramiske strukturdeler er en generell betegnelse på ulike kompliserte former for keramiske deler. De formes ved tørrpressing eller kalde isostatiske pressinger, sintres under høy temperatur og bearbeides deretter med presisjon.
Laget av høyrens aluminiumoksidpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturbestandighet 400 ℃~800 ℃.
