ST.CERA tilpasset halvleder keramisk fokusring
De keramiske reservedelene er laget av høyrent alumina-keramikk (over 99,5 %), dannet ved kald isostatisk pressing og sintret under høy temperatur, deretter presisjonsbearbeidet og polert. De keramiske reservedelene kan oppfylle alle strenge krav til halvlederutstyr med sine egenskaper som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, lav termisk ekspansjon og isolasjon.
Med egenskaper som høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, slitestyrke og isolasjon, kan keramikk fungere i mange typer halvlederproduksjonsutstyr med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass i lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
