-
Keramisk endeeffektor av høyrent aluminiumoksid for waferhåndteringsroboter
St.Ceras endeeffektor av alumina-keramikk er presisjonsmaskinert fra 99,8 % høyrenhets Al₂O₃ ved hjelp av avansert 5-akset CNC-slipeutstyr. Våre produksjonsmuligheter inkluderer presisjonsslipemaskiner og CNC-maskineringssentre, noe som muliggjør komplekse geometrier med høy presisjon. Endeeffektoren har en tynn profil (så tynn som 1,5 mm) med en konisk forkant for jevn waferinnsetting. Materialet gir høy stivhet (Youngs modulus 380 GPa), utmerket slitestyrke og termisk stabilitet opptil 800 °C. Hver enhet er presisjonsslipt for å oppnå en flathet på 0,003 mm, en parallellitet på 0,002 mm og en overflatefinish på Ra0,1, noe som sikrer jevn waferkontakt og partikkelfri drift i halvleder-FAB-miljøer. Tilgjengelig i lengder fra 150 mm til 450 mm, med tilpassede spissgeometrier (kantgrep, Bernoulli, flat) og monteringsflenser for å passe OEM-roboter. Overflatebehandlingsalternativene inkluderer overlappende, polert eller ESD-avledende belegg (10⁶–10⁹ Ω/kvadrat).
-
ST.CERA tilpasset alumina keramisk Bernoulli-endeeffektor
Som en ledende produsent av keramiske endeeffektorer/håndteringsarmer har vi utviklet en ukonvensjonell endeeffektor/håndteringsarm som svarer til markedets behov. Bernoullis prinsippbaserte keramiske endeeffektor/håndteringsarm som kan sveve og transportere waferen via luftstrøm med minimal perifer kontakt.
-
ST.CERA Tilpasset ESD Keramisk endeeffektor
Med egenskaper som høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, slitestyrke og isolasjon, kan keramikk fungere i mange typer halvlederproduksjonsutstyr med tilstander av høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass i lang tid.
-
ST.CERA tilpasset gripeendeeffektor av aluminakeramikk
Med egenskaper som høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, slitestyrke og isolasjon, kan keramikk fungere i mange typer halvlederproduksjonsutstyr med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass i lang tid.
-
ST.CERA tilpasset aluminiumoksidkeramisk brett-endeeffektor
Dette er en keramisk endeeffektor/håndteringsarm av bretttypen som brukes under vakuum.
Keramisk endeeffektor/håndteringsarm er «mer varmebestandig», «mindre avbøyelig» og «lettere» i vekt sammenlignet med metallarmene.
-
ST.CERA Tilpasset Alumina Keramisk vakuum-endeeffektor
Med egenskaper som høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, slitestyrke og isolasjon, kan keramikk fungere i mange typer halvlederproduksjonsutstyr med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass i lang tid.
-
ST.CERA tilpasset alumina keramisk endeeffektor
ST.CERA tilbyr ESD-belegg og ESD-keramisk materiale. End Effector er laget av høyrens aluminapulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish. Den kan nå en dimensjonstoleranse på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1 og temperaturmotstand på 1600 ℃.
-
ST.CERA tilpasset aluminiumoksid keramisk vakuum-endeeffektor
Dette er en keramisk endeeffektor/håndteringsarm av bretttypen som brukes under vakuum.
Keramisk endeeffektor/håndteringsarm er «mer varmebestandig», «mindre avbøyelig» og «lettere» i vekt sammenlignet med metallarmene.
Med egenskaper som høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, slitestyrke og isolasjon, kan keramikk fungere i mange typer halvlederproduksjonsutstyr med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass i lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
-
ST.CERA tilpasset håndtering av keramiske endeeffektorskiver med alumina
ST.CERA tilbyr ESD-belegg og ESD-keramisk materiale, en endeeffektor/håndteringsarm med innebygd hul kanal. Vi spesialiserer oss på en teknikk som danner en vakuumluftkanal inne i et enkelt materiale uten bruk av lim.
Det er ingen risiko for forurensning, utgassing eller partikler. ST.CERAs vakuum-endeeffektor/håndteringsarm med spesiell beleggteknologi er elektrisk isolert. Vi kan også tilby ESD-keramisk materiale som er elektrisk isolert uten belegg.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃. -
Komponenter for halvlederutstyr for endeeffektorer i aluminiumoksidkeramikk
Unngå partikler som kan dannes fra skråkanten eller de vinklede kantene og bakoverflaten mens wafere transporteres eller er i kontakt med endeeffektoren/håndteringsarmen.
For føringene er det brukt et mykt materiale som ikke skader waferen.
Tynning er mulig med ST.CERAs innebygde vakuumkanalteknologi som ikke bruker lim.
Mulig å lage monteringshull og endre lengden og bredden på basen der endeeffektoren/håndteringsarmen er montert på roboten.
Montering av sensorer, skruer og braketter er tilgjengelig som tilleggsutstyr.
Beregnet for bruk i atmosfæren.
-
Tilpasset CNC-maskinering av St.Cera keramisk endeeffektor
ST.CERA tilbyr en vakuumkeramisk endeeffektor/håndteringsarm med en innebygd hul kanal. Vi spesialiserer oss på en teknikk som danner en vakuumluftkanal inne i et enkelt materiale uten bruk av lim.
Det er ingen risiko for forurensning, utgassing eller partikler. ST.CERAs vakuum-endeeffektorer/håndteringsarmer med innebygd kanal er slitesterke og kan brukes ved høye temperaturer. Dessuten kan produksjonskostnadene våre reduseres ved å eliminere unødvendig montering.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
-
Alumina antistatisk keramisk endeeffektor
Med egenskaper som høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, slitestyrke og isolasjon, kan keramikk fungere i mange typer halvlederproduksjonsutstyr med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass i lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
