Keramisk endeeffektor av høyrent aluminiumoksid for waferhåndteringsroboter

St.Ceras endeeffektor av alumina-keramikk er presisjonsmaskinert fra 99,8 % høyrenhets Al₂O₃ ved hjelp av avansert 5-akset CNC-slipeutstyr. Våre produksjonsmuligheter inkluderer presisjonsslipemaskiner og CNC-maskineringssentre, noe som muliggjør komplekse geometrier med høy presisjon. Endeeffektoren har en tynn profil (så tynn som 1,5 mm) med en konisk forkant for jevn waferinnsetting. Materialet gir høy stivhet (Youngs modulus 380 GPa), utmerket slitestyrke og termisk stabilitet opptil 800 °C. Hver enhet er presisjonsslipt for å oppnå en flathet på 0,003 mm, en parallellitet på 0,002 mm og en overflatefinish på Ra0,1, noe som sikrer jevn waferkontakt og partikkelfri drift i halvleder-FAB-miljøer. Tilgjengelig i lengder fra 150 mm til 450 mm, med tilpassede spissgeometrier (kantgrep, Bernoulli, flat) og monteringsflenser for å passe OEM-roboter. Overflatebehandlingsalternativene inkluderer overlappende, polert eller ESD-avledende belegg (10⁶–10⁹ Ω/kvadrat).

Spesifikasjoner (basert på 99,8 % aluminium)₂O₃& St.Ceras produksjonskapasitet):

Bruksområder:

• · Waferoverføring i vakuum- og atmosfæriske roboter
• · FAB-automatiseringsendeeffektorer for 200 mm/300 mm wafere
• · Håndtering av tynne wafere (med ESD-alternativ)

Produksjonskapasiteter:
Våre presisjonsslipemaskiner og CNC-maskineringssentre muliggjør produksjon av komplekse keramiske komponenter med:

• · Maksimal maskineringslengde: 1500 mm
• · Maksimal ytre diameter: 600 mm
• · Minste indre diameter: 0,2 mm
• · Maksimal tykkelse: 100 mm

Kvalitetskontroll:
Retthet 0,005 mm, vinkelretthet 0,005 mm, rundhet 0,002 mm, parallellitet 0,002 mm, konsentrisitet 0,01 mm bekreftet av CMM. Hver enhet er ultralydrenset og klasse 100 renromspakket.