Alumina vakuumchuck for presisjonsskjæring og sliping
St.Ceras vakuumchuck av alumina er produsert av 99,8 % høyrens Al₂O₃ med presisjonsmaskinerte vakuumriller. Vår presisjonsslipekapasitet oppnår en flathet på 0,003 mm og en parallellitet på 0,002 mm, noe som sikrer vridningsfri waferfiksering under terning, baksidesliping og inspeksjon. Materialet har høy bøyestyrke (361 MPa), hardhet (16 GPa) og termisk stabilitet opptil 800 °C. Tilgjengelig i runde formater opptil 600 mm ytre diameter (OD) og rektangulære former opptil 1500 mm lengde. Vakuumriller er spesialdesignet (konsentriske, radiale eller rutemønstre) for å passe spesifikke prosesskrav. Hver chuck inspiseres med laserinterferometer og leveres med en flathetsverifiseringsrapport.
Spesifikasjoner (basert på 99,8 % aluminium)₂O₃& St.Ceras produksjonskapasitet):
| Eiendom | Verdi |
| Materiale | 99,8 % aluminiumoksid (elfenben) |
| Tetthet | 3,93 g/cm³ |
| Bøyestyrke | 361 MPa |
| Vickers-hardhet | 16 GPa |
| Ytre diameter (maks) | 600 mm |
| Tykkelse (maks) | 100 mm |
| Lengde (maks) | 1500 mm |
| Flathet | 0,003 mm |
| Parallellisme | 0,002 mm |
| Overflatefinish | Ra0,1 |
| Maks. driftstemperatur | 800°C |
Bruksområder:
- · Kutting og rissing av skiver (200 mm/300 mm og større)
- · Baksidesliping av tynne skiver
- · Optisk inspeksjon og sondering
- · Håndtering av store underlag
Produksjonspresisjon:
- · Retthet: 0,005 mm
- · Vinkelretthet: 0,005 mm
- · Rundhet: 0,002 mm
- · Konsentrisitet: 0,01 mm
