Aluminabasert standard vakuumchuck – høy stivhet for presisjonsmaskinering
Denne vakuumchucken basert på alumina er produsert av 99,8 % Al₂O₃, og tilbyr en glatt, ikke-porøs overflate med tilpassede vakuumrillemønstre. Den gir eksepsjonell stivhet (Youngs modulus 380 GPa) og flathet (≤3 μm), noe som gjør den ideell for presisjonssliping, lapping og dicing av halvlederskiver og optiske komponenter. Materialets høye varmeledningsevne (32 W/m·k) sikrer temperaturjevnhet under prosessering.
Spesifikasjoner(basert på 99,8 % aluminium₂O₃):
| Eiendom | Verdi |
| Materiale | 99,8 % aluminiumoksid (elfenben) |
| Tetthet | 3,93 g/cm³ |
| Bøyestyrke | 361 MPa |
| Vickers-hardhet | 16 GPa |
| Youngs modulus | 380 GPa |
| Termisk konduktivitet | 32 W/m·k |
| Flathet | ≤3 μm (over 200 mm) |
| Overflateruhet (chuckside) | Ra ≤0,4 μm |
| Maks. driftstemperatur | 800°C |
Bruksområder:
- · Baksidesliping av skiver (grov og fin)
- · Presisjonsskjæring av sprø materialer
- · Overlapping av keramiske underlag
- · Polering av optiske linser
Produksjon:
Presisjonslapping av begge sider → diamantrilling (valgfritt) → kantabruning → ultralydrengjøring → 100 % planhetsinspeksjon med laserinterferometer.
Afordeler:
- · Stiv støtte minimerer nedbøyning under belastning
- · Ingen partikkelgenerering fra porøs struktur
- · Lett å rengjøre (kompatibel med løsemiddel og tørkepapir)
- · Tilpassbare vakuumriller (konsentriske, radiale, tilpassede mønstre)
Tilgjengelige størrelser:
Rund: 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm; firkantet/rektangulær på forespørsel.
Vi tilbyr også metallbaserte versjoner for høyere mekanisk styrke.
