Høyrenhets keramisk kjerne av alumina for halvlederarmaturer
St.Ceras alumina-keramiske kjerne er presisjonsformet av 99,8 % høyrens Al₂O₃, og tilbyr eksepsjonell dielektrisk styrke (15 × 10⁶ V/m), termisk stabilitet opptil 1600 °C og krypemotstand under belastning. Disse kjernene brukes som strukturelle komponenter i høytemperatur prosessinventar, varmebaser, plasmakammerforinger og elektriske isolatorer. Materialets høye hardhet (16 GPa) og lave vannabsorpsjon (0 %) sikrer langvarig pålitelighet i tøffe miljøer.
Spesifikasjoner(basert på 99,8 % aluminium₂O₃):
| Eiendom | Verdi |
| Materiale | 99,8 % aluminiumoksid (elfenben) |
| Tetthet | 3,93 g/cm³ |
| Bøyestyrke | 361 MPa |
| Bruddseighet | 3–4 MPa·m¹/² |
| Vickers-hardhet | 16 GPa |
| Youngs modulus | 380 GPa |
| Termisk konduktivitet | 32 W/m·k |
| Termisk ekspansjon (25–1000 °C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Dielektrisk styrke | 15×10⁶ V/m |
| Spesifikk motstand | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Maks. driftstemperatur | 1600°C |
Bruksområder:
- · Varmekjerne for epitaksiale reaktorer
- · Plasmakammerforing og dekselplater
- · Høyspenningsisolatorer
- · Fikseringsbase for waferhåndteringsroboter
Produksjon:
Isostatisk pressing → grønn maskinering → sintring ved 1600 °C → CNC-sliping til endelige dimensjoner (±0,01 mm toleranse). Hver kjerne inspiseres med CMM og ultralydfeildeteksjon.
Kvalitetssikring:
ISO 9001:2015-sertifisert. Fargepenetreringstesting for overflatesprekker; dielektrisk styrketest i henhold til ASTM D149.
Afordeler fremfor andre keramikktyper:
- · Høyere dielektrisk styrke enn zirkoniumoksid (15 vs <10×10⁶ V/m)
- · Lavere kostnad enn SiC for ikke-plasmaapplikasjoner
- · Utmerket kjemisk motstand mot halogener (unntatt HF)
Tilpassede former:
Sylindere, firkantede stenger, plater eller komplekse geometrier. Minimum størrelse på funksjonen er 0,5 mm.
Kontakt oss for tilpassede kjernedesign og støtte for termisk simulering.
