-
Alumina PVD-isolasjonsring for fysiske dampavsetningssystemer
St.Ceras PVD-isolasjonsring er produsert av 99,8 % høyrens aluminiumoksyd (Al₂O₃) for bruk i fysiske dampavsetningssystemer (PVD). Ringen gir elektrisk isolasjon mellom kammerkomponenter, forhindrer lysbuedannelse og sikrer stabil plasmadrift. Viktige egenskaper inkluderer høy dielektrisk styrke (15×10⁶ V/m), spesifikk motstand >10¹⁴ Ω·mm²/m og termisk stabilitet opptil 1600 °C. Våre presisjonsbearbeidingsmuligheter oppnår ytre diametre opptil 600 mm, indre diametre ned til 0,2 mm, flathet på 0,003 mm og overflatefinish Ra0,1. Ringens null porøsitet og kjemiske inertitet sikrer langsiktig pålitelighet i aggressive sputtermiljøer.
-
Alumina keramiske deler for E-Gun fordampningssystemer
St.Cera produserer keramiske komponenter med høy renhet av 99,8 % alumina, spesielt utviklet for elektronstrålefordampningssystemer (E-gun). Disse delene inkluderer digelforinger, stråleavbøyningsskjold, isolatorer og monteringsarmaturer. Materialet tilbyr høy dielektrisk styrke (15 × 10⁶ V/m), termisk stabilitet opptil 1600 °C og utmerket motstand mot termisk sjokk og kjemisk angrep fra fordampede materialer. Våre presisjonsmaskineringsmuligheter oppnår komplekse geometrier med minimumsstørrelse på 0,2 mm, flathet 0,003 mm og overflatefinish Ra0,1. Hver del er 100 % CMM-inspisert for dimensjonsnøyaktighet.
-
ST.CERA Tilpassede 99,5 % alumina keramiske deler
Keramiske strukturdeler er en generell betegnelse på ulike kompliserte former for keramiske deler. De keramiske delene er laget av keramisk pulver med høy renhet, formes ved tørrpressing eller kaldeisostatisk pressing, sintres under høy temperatur og deretter presisjonsmaskineres. De er mye brukt i halvlederutstyr, optisk kommunikasjon, laser, medisinsk utstyr, petroleum, metallurgi og elektronikkindustrien med egenskaper som høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, slitestyrke og isolasjon.
-
ST.CERA tilpasset 99,5 % alumina keramisk lastearm
En keramisk endeeffektor/håndteringsarm er installert på en waferhåndteringsrobot eller «endeeffektorer» og brukes til å føre silisiumskiver inn i eller ut av kassetter eller prosesskamre.
Fordelene med å bruke keramikk er reduksjon av nedbøyning på grunn av høy bøyestyrke, motstand mot høye temperaturer og eliminering av metallforurensning og partikler. -
ST.CERA tilpassede 99,5 % alumina keramiske komponenter
Laget av keramisk pulver med høy renhet, formes de keramiske komponentene ved tørrpressing eller kalde isostatiske pressinger, sintres under høy temperatur og deretter presisjonsmaskineres. Det er mye brukt i halvlederutstyr, optisk kommunikasjon, laser, medisinsk utstyr, petroleum, metallurgi og elektronikkindustrien med egenskaper som høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, slitestyrke og isolasjon.
-
Presisjons keramisk aluminiumoksid keramisk waferhåndteringsarm halvlederkeramikk
Med egenskaper som høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, slitestyrke og isolasjon, kan keramikk fungere i mange typer halvlederproduksjonsutstyr med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass i lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
-
Isolerte komponenter for halvlederutstyr med keramisk arm av aluminiumoksid
Unngå partikler som kan dannes fra skråkanten eller de vinklede kantene og bakoverflaten mens wafere transporteres eller er i kontakt med endeeffektoren/håndteringsarmen.
For føringene er det brukt et mykt materiale som ikke skader waferen.
Tynning er mulig med ST.CERAs innebygde vakuumkanalteknologi som ikke bruker lim.
Mulig å lage monteringshull og endre lengden og bredden på basen der endeeffektoren/håndteringsarmen er montert på roboten.
Montering av sensorer, skruer og braketter er tilgjengelig som tilleggsutstyr.
Designet for bruk i atmosfæren
-
Høy temperaturbestandighet for presisjonskeramikk av aluminiumoksyd
Keramikkrøret er laget av keramisk pulver med høy renhet, formes ved tørrpressing eller kaldeisostatisk pressing, sintres under høy temperatur og deretter presisjonsmaskineres. Med mange fordeler som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, høy hardhet, høy seighet og lav friksjonskoeffisient, er det mye brukt i medisinsk utstyr, presisjonsmaskineri, laser, metrologi og inspeksjonsutstyr. Det kan fungere i syre- og alkaliforhold i lang tid, og maksimumstemperaturen kan nå opptil 1600 ℃.
-
Høytrykks- og slitesterk alumina keramisk stang keramisk stempel
Keramikkstangen er laget av keramisk pulver med høy renhet, formes ved tørrpressing eller kaldeisostatisk pressing, sintres under høy temperatur og deretter presisjonsmaskineres. Med mange fordeler som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, høy hardhet, høy seighet og lav friksjonskoeffisient, er den mye brukt i medisinsk utstyr, presisjonsmaskineri, laser, metrologi og inspeksjonsutstyr. Den kan fungere i syre- og alkaliforhold i lang tid, og maksimumstemperaturen kan nå opptil 1600 ℃.
-
Alumina keramisk skafthylse keramisk stempel
Keramikkstangen er laget av keramisk pulver med høy renhet, og formes ved tørrpressing eller kaldeisostatisk pressing, sintres under høy temperatur og deretter presisjonsmaskineres. Med mange fordeler som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, høy hardhet, høy seighet og lav friksjonskoeffisient, er den mye brukt i medisinsk utstyr, presisjonsmaskineri, laser, metrologi og inspeksjonsutstyr. Den kan fungere i syre- og alkaliforhold i lang tid, og maksimumstemperaturen kan nå opptil 1600 ℃. De keramiske materialene vi vanligvis bruker er zirkoniumoksid, 95 % ~ 99,9 % alumina (Al2O3), silisiumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AlN) og så videre.
-
Utmerket ytelse av mekaniske strukturelle deler av aluminiumoksidkeramikk
Keramiske strukturdeler er en generell betegnelse på ulike kompliserte former for keramiske deler. De keramiske delene er laget av keramisk pulver med høy renhet, formes ved tørrpressing eller kalde isostatiske pressinger, sintres under høy temperatur og deretter presisjonsmaskineres. De er mye brukt i halvlederutstyr, optisk kommunikasjon, laser, medisinsk utstyr, petroleum, metallurgi og elektronikkindustrien.
-
Strukturelle komponenter av aluminiumoksidkeramikk
Keramiske strukturdeler er en generell betegnelse på ulike kompliserte former for keramiske deler. De formes ved tørrpressing eller kalde isostatiske pressinger, sintres under høy temperatur og bearbeides deretter med presisjon.
Laget av høyrens aluminiumoksidpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturbestandighet 400 ℃~800 ℃.
