Alumina PVD-isolasjonsring for fysiske dampavsetningssystemer
St.Ceras PVD-isolasjonsring er produsert av 99,8 % høyrens aluminiumoksyd (Al₂O₃) for bruk i fysiske dampavsetningssystemer (PVD). Ringen gir elektrisk isolasjon mellom kammerkomponenter, forhindrer lysbuedannelse og sikrer stabil plasmadrift. Viktige egenskaper inkluderer høy dielektrisk styrke (15×10⁶ V/m), spesifikk motstand >10¹⁴ Ω·mm²/m og termisk stabilitet opptil 1600 °C. Våre presisjonsbearbeidingsmuligheter oppnår ytre diametre opptil 600 mm, indre diametre ned til 0,2 mm, flathet på 0,003 mm og overflatefinish Ra0,1. Ringens null porøsitet og kjemiske inertitet sikrer langsiktig pålitelighet i aggressive sputtermiljøer.
Spesifikasjoner (basert på 99,8 % aluminium)₂O₃& St.Ceras produksjonskapasitet):
| Eiendom | Verdi |
| Materiale | 99,8 % alumina (elfenben) |
| Tetthet | 3,93 g/cm³ |
| Bøyestyrke | 361 MPa |
| Vickers hardhet | 16 GPa |
| Dielektrisk styrke | 15×10⁶ V/m |
| Spesifikk motstand | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Maks ytre diameter | 600 mm |
| Min. indre diameter | 0,2 mm |
| Maks tykkelse | 100 mm |
| Flathet | 0,003 mm |
| Parallellisme | 0,002 mm |
| Overflatefinish | Ra0,1 |
| Maks. driftstemperatur | 1600°C |
Bruksområder:
- · Målrett bakplateisolatorer i PVD-systemer
- · Kammergjennomføringsisolatorer
- · Skjermringsisolatorer i sputteringssystemer
- · Høyspenningsisolasjon i plasmakamre
Produksjonspresisjon:
Konsentrisitet: 0,01 mm, rundhet: 0,002 mm, retthet: 0,005 mm, vinkelretthet: 0,005 mm, verifisert av CMM.
AFordeler fremfor polymerisolatorer:
- · Tåler 1600 °C mot polymerens grense på <300 °C
- · Ingen avgassing – opprettholder vakuumintegriteten
- · Motstår plasmaerosjon og kjemiske angrep
Tilpasning:
Tilpassede tverrsnitt, monteringsfunksjoner, trinnprofiler og flere konsentriske ringdesign tilgjengelig.
