+86 17752847642
info@stcera.com
bella@stcera.com
side_banner

ST.CERA tilpasset 99,5 % aluminiumoksyd keramisk lastearm

ST.CERA tilpasset 99,5 % aluminiumoksyd keramisk lastearm Utvalgt bilde
  • ST.CERA tilpasset 99,5 % aluminiumoksyd keramisk lastearm
  • ST.CERA tilpasset 99,5 % aluminiumoksyd keramisk lastearm
  • ST.CERA tilpasset 99,5 % aluminiumoksyd keramisk lastearm
  • ST.CERA tilpasset 99,5 % aluminiumoksyd keramisk lastearm

ST.CERA tilpasset 99,5 % aluminiumoksyd keramisk lastearm

Kort beskrivelse:

Keramisk endeeffektor / håndteringsarm er installert på waferhåndteringsrobot eller "endeeffektorer" og brukes til å bære silisiumskiver inn eller ut av kassetter eller prosesskamre.
Fordelene med å bruke keramikk er reduksjon av nedbøyning på grunn av høy bøyestyrke, motstand mot høye temperaturer og eliminering av metallforurensning og partikler.


Produkt detalj

Produktetiketter

produkt detaljer

Med funksjoner av høy temperaturbestandighet, korrosjonsmotstand, slitestyrke og isolasjon, kan keramikk fungere i mange typer halvlederproduksjonsutstyr med tilstand av høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass i lang tid.

Laget av høyrent aluminiumoksydpulver, behandlet ved kald isostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsbehandling, kan den keramiske endeeffektoren nå dimensjonstoleransen til ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.

Den keramiske endeeffektoren med hulrom kan fungere i en høy temperatur på 800 ℃ på grunn av unik keramisk bindingsteknologi.

Her er egenskapene til alumina keramikk med forskjellig renhet.

produktparametere

logo

ST.CERA CO., LTD.

Materialdatablad

Egenskaper Enhet Alumina (Al2O3)
99 % Al2O3 99,5 % Al2O3 99,8 % Al2O3 99,9 % Al2O3
Farge — Hvit elfenbein elfenbein elfenbein
Tetthet g/cm3 3,88 3,90 3,93 3,95
Vannabsorpsjon % 0 0 0 0
Korn størrelse μm 2~5 2~5 2~5 2~4
Fleksibilitetsstyrke MPa 350 360 361 350
Brudd seighet MPa·m1/2 3~4 3~4 3~4 3~4
Vickers hardhet GPa 14 15.5 16 16
Youngs elastikkmodul GPa 370 370 380 390
Termisk ledningsevne W/m·k 28 32 32 34
Termisk ekspansjonskoeffisient 10-6/℃ 7.2 7.2 7.2 7.2
Dielektrisk konstant — 9.5 9.6 9.6 9.9
Dielektrisk tapsvinkel — 0,0001 0,0001 0,0001 0,0001
Dielektrisk styrke V/m 15×106 15×106 15×106 15×106
Spesifikk motstand Ω ·mm2/m ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014

Produksjonsprosess

Spraygranulering → keramisk pulver → Forming → Blanksintring → Grovsliping → CNC-bearbeiding → Finsliping → Dimensjonsinspeksjon → Rengjøring Pakking

Viktige detaljer

Opprinnelsessted: Hunan, Kina
Materiale: Alumina Keramikk
HS-kode: 85471000
Forsyningsevne: 100 stk per måned
Leveringstid: 3-4 uker
Pakke: Bølgepapp, skum, kartong
Andre: Tilpasningstjeneste tilgjengelig

  • Tidligere:
  • Neste:

    • Relaterte produkter