+86 17752847642
info@stcera.com
bella@stcera.com
sidebanner

ST.CERA tilpasset 99,5 % alumina keramisk lastearm

ST.CERA tilpasset 99,5 % alumina keramisk lastearm fremhevet bilde
  • ST.CERA tilpasset 99,5 % alumina keramisk lastearm
  • ST.CERA tilpasset 99,5 % alumina keramisk lastearm
  • ST.CERA tilpasset 99,5 % alumina keramisk lastearm
  • ST.CERA tilpasset 99,5 % alumina keramisk lastearm

ST.CERA tilpasset 99,5 % alumina keramisk lastearm

Kort beskrivelse:

En keramisk endeeffektor/håndteringsarm er installert på en waferhåndteringsrobot eller «endeeffektorer» og brukes til å føre silisiumskiver inn i eller ut av kassetter eller prosesskamre.
Fordelene med å bruke keramikk er reduksjon av nedbøyning på grunn av høy bøyestyrke, motstand mot høye temperaturer og eliminering av metallforurensning og partikler.


Produktdetaljer

Produktetiketter

Produktdetaljer

Med egenskaper som høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, slitestyrke og isolasjon, kan keramikk fungere i mange typer halvlederproduksjonsutstyr med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass i lang tid.

Laget av høyrens aluminiumoksidpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den keramiske endeeffektoren nå en dimensjonstoleranse på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.

Den keramiske endeeffektoren med hulrom kan fungere i en høy temperatur på 800 ℃ på grunn av unik keramisk bindingsteknologi.

Her er egenskapene til alumina-keramikk med forskjellig renhet.

produktparametere

logo

ST.CERA CO., LTD.

Materialdatablad

Eiendommer Enhet Alumina (Al2O3)
99 % Al₂O₃ 99,5 % Al₂O₃ 99,8 % Al₂O₃ 99,9 % Al₂O₃
Farge — Hvit Elfenbein Elfenbein Elfenbein
Tetthet g/cm3 3,88 3,90 3,93 3,95
Vannabsorpsjon % 0 0 0 0
Kornstørrelse mikrometer 2~5 2~5 2~5 2~4
Bøyestyrke MPa 350 360 361 350
Bruddseighet MPa·m³ 3~4 3~4 3~4 3~4
Vickers-hardhet GPa 14 15,5 16 16
Youngs elastisitetsmodul GPa 370 370 380 390
Termisk konduktivitet Uker/m·k 28 32 32 34
Termisk ekspansjonskoeffisient 10-6/℃ 7.2 7.2 7.2 7.2
Dielektrisk konstant — 9,5 9.6 9.6 9,9
Dielektrisk tapsvinkel — 0,0001 0,0001 0,0001 0,0001
Dielektrisk styrke V/m 15×106 15×106 15×106 15×106
Spesifikk motstand Ω ·mm²/m ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014

Produksjonsprosess

Spraygranulering → keramisk pulver → Forming → Blanksintring → Grovsliping → CNC-maskinering → Finsliping → Dimensjonsinspeksjon → Rengjøring av pakking

Viktige detaljer

Opprinnelsessted: Hunan, Kina
Materiale: Alumina Keramikk
HS-kode: 85471000
Forsyningsevne: 100 stk per måned
Leveringstid: 3–4 uker
Pakke: Bølgepappkasse, skum, kartong
Andre: Tilpasningstjeneste tilgjengelig

  • Tidligere:
  • Neste:

    • relaterte produkter