Keramisk støttepinne for halvlederprosessarmaturer
St.Ceras keramiske støttepinner (også kjent som løftepinner eller støttepinner) brukes i halvlederprosesskamre for å løfte wafere eller substrater under håndtering, oppvarming eller avkjøling. Disse pinnene er produsert av 99,8 % alumina eller silisiumnitrid, og tilbyr høy trykkfasthet, termisk stabilitet og kjemisk motstand. Den halvkuleformede eller flate spissdesignen forhindrer riper i waferen.
Spesifikasjoner(Alumina 99,8 %):
| Eiendom | Verdi |
| Materiale | 99,8 % Al₂O₃ eller Si₃N₄ |
| Lengde | 10–100 mm |
| Diameter | 1–10 mm |
| Spissform | Flat, halvkuleformet, spiss |
| Trykkfasthet (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Maks. driftstemperatur (Al₂O₃) | 1600°C |
| Overflatefinish | Overlappet (Ra ≤0,4 μm) |
| Toleranse på diameter | ±0,01 mm |
Bruksområder:
Løftepinner i CVD/PVD-kamre
Støttepinner for steking på varmplate
Støttestrukturer for probekort
Støtter for båter i kvartsovn
Produksjon:
Presisjonssliping av ytterdiameter → diamantsliping av spissprofil → ultralydrengjøring → 100 % dimensjonsinspeksjon.
Kvalitetskontroll:
CMM for lengde/diameter, optisk komparator for spissradius, lasttesting for å verifisere trykkfasthet (tilfeldig utvalg per parti). Ingen ferromagnetisk forurensning (verifisert med magnet).
Fordeler fremfor metall- eller kvartsnåler:
5 ganger lengre levetid enn rustfritt stål
Ingen metallforurensning i prosesskammeret
Høyere temperaturkapasitet enn kvarts (1600 °C vs. 1100 °C)
Non-stick overflate (redusert partikkelheft)
Tilpasning:
Flere spissprofiler, gjenget base eller konisk skaft.
Vi leverer også SiC-pinner for ekstreme plasmamiljøer.
