-
ST.CERA tilpassede keramiske chucker for halvlederutstyr
Keramiske reservedeler dannes ved kald isostatisk pressing og sintres under høy temperatur, deretter presisjonsmaskineres og poleres, og kan oppfylle alle strenge krav til halvlederutstyr med sine egenskaper som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, lav termisk ekspansjon og isolasjon. Keramikk kan brukes i mange typer halvlederproduksjonsutstyr under forhold med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass over lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
-
Keramiske reservedeler for halvlederprobeutstyr
Keramiske reservedeler dannes ved kald isostatisk pressing og sintres under høy temperatur, deretter presisjonsmaskineres og poleres, og kan oppfylle alle strenge krav til halvlederutstyr med sine egenskaper som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, lav termisk ekspansjon og isolasjon. Keramikk kan brukes i mange typer halvlederproduksjonsutstyr under forhold med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass over lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
-
Høyrenhets keramiske deler av alumina for halvleder- og industrielle applikasjoner
St.Cera produserer presisjonsbearbeidede keramiske deler av alumina (Al₂O₃) etter kundens spesifikasjoner. Disse komponentene bruker 99,8 % høyrent alumina og gir utmerket bøyestyrke (361 MPa), høy hardhet (16 GPa) og enestående dielektrisk styrke (15×10⁶ V/m). Materialet er designet for halvlederutstyr, slitesterke enheter, elektriske isolatorer og høytemperaturarmaturer, og tilbyr nesten null vannabsorpsjon (0 %) og en termisk utvidelseskoeffisient på 7,2×10⁻⁶/℃, noe som sikrer dimensjonsstabilitet under ekstreme forhold.
-
Keramisk støttepinne for halvlederprosessarmaturer
St.Ceras keramiske støttepinner (også kjent som løftepinner eller støttepinner) brukes i halvlederprosesskamre for å løfte wafere eller substrater under håndtering, oppvarming eller avkjøling. Disse pinnene er produsert av 99,8 % alumina eller silisiumnitrid, og tilbyr høy trykkfasthet, termisk stabilitet og kjemisk motstand. Den halvkuleformede eller flate spissdesignen forhindrer riper i waferen.
-
Høyrenhets keramisk kjerne av alumina for halvlederarmaturer
St.Ceras alumina-keramiske kjerne er presisjonsformet av 99,8 % høyrens Al₂O₃, og tilbyr eksepsjonell dielektrisk styrke (15 × 10⁶ V/m), termisk stabilitet opptil 1600 °C og krypemotstand under belastning. Disse kjernene brukes som strukturelle komponenter i høytemperatur prosessinventar, varmebaser, plasmakammerforinger og elektriske isolatorer. Materialets høye hardhet (16 GPa) og lave vannabsorpsjon (0 %) sikrer langvarig pålitelighet i tøffe miljøer.
-
ST.CERA tilpasset for keramiske ringer og skiver av aluminiumoksid
Keramiske reservedeler dannes ved kald isostatisk pressing og sintres under høy temperatur, deretter presisjonsmaskineres og poleres, og kan oppfylle alle strenge krav til halvlederutstyr med sine egenskaper som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, lav termisk ekspansjon og isolasjon. Keramikk kan brukes i mange typer halvlederproduksjonsutstyr under forhold med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass over lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
