Storformat aluminiumoksid keramisk plate for halvleder- og industrielle armaturer
St.Cera produserer keramiske plater i storformat av 99,8 % høyrens aluminiumoksyd (Al₂O₃) med maksimale dimensjoner opptil 1500 mm i lengde og 600 mm i bredde. Våre presisjonsslipeegenskaper oppnår en flathet på 0,003 mm over 100 mm og en parallellitet på 0,002 mm, noe som sikrer jevn overflatekvalitet for store applikasjoner. Tykkelse opptil 100 mm, overflatefinish ned til Ra0,1. Disse platene fungerer som vakuumchuckbaser, varmeplater, elektriske isolasjonspaneler og prosesskammergulv i halvleder-, display- og solcelleproduksjon. Gjennomgående hull, forsenkninger og kantprofilering er tilgjengelig.
Spesifikasjoner (basert på 99,8 % aluminium)₂O₃& St.Ceras produksjonskapasitet):
| Eiendom | Verdi |
| Materiale | 99,8 % alumina (elfenben) |
| Tetthet | 3,93 g/cm³ |
| Bøyestyrke | 361 MPa |
| Vickers hardhet | 16 GPa |
| Dielektrisk styrke | 15×10⁶ V/m |
| Maks lengde | 1500 mm |
| Maks. bredde | 600 mm |
| Maks tykkelse | 100 mm |
| Flathet (per 100 mm) | 0,003 mm |
| Parallellisme | 0,002 mm |
| Overflatefinish | Ra0.1 (slipet/polert) |
| Maks. driftstemperatur | 1600°C |
Bruksområder:
- · Vakuumchuck-baseplater for store wafere og paneler
- · Varmeplater for termisk prosesseringsutstyr
- · Elektriske isolasjonspaneler i høyspenningssystemer
- · Gulv og foringsplater i prosesskammeret
Produksjonspresisjon:
Retthet: 0,005 mm, vinkelretthet: 0,005 mm, verifisert med laserinterferometer.
Fordeler fremfor metallplater:
- · Ingen metallisk forurensning – kritisk for halvlederprosesser
- · Null avgassing – ideell for vakuummiljøer
- · Overlegen slitestyrke og kjemikaliebestandighet
Tilpasning:
Tilpassede hullmønstre, kantprofiler, trinnvise overflater og metalliserte monteringsområder er tilgjengelig.
