Med funksjoner av høy temperaturmotstand, korrosjonsmotstand, slitestyrke og isolasjon, kan keramikk fungere i mange typer halvlederproduksjonsutstyr med tilstand av høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass i lang tid
Med funksjoner av høy temperaturbestandighet, korrosjonsmotstand, slitestyrke og isolasjon, kan keramikk fungere i mange typer halvlederproduksjonsutstyr med tilstand av høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass i lang tid.
Dette er en keramisk endeeffektor / håndteringsarm av bretttype som brukes under vakuum.
Keramisk endeeffektor / håndteringsarm er "mer varmebestandig", "mindre avbøyelig" og "lettere" i vekt sammenlignet med metallene.
Som en ledende produsent av keramiske endeeffektor / håndteringsarm, har vi utviklet en ukonvensjonell endeeffektor / håndteringsarm som svarer til markedets behov.Bernoullis Prinsippbaserte keramiske End Effector / Handling Arm som kan levitere og transportere waferen via luftstrøm med minimal perifer kontakt.