12-tommers vakuumchuck av aluminiumoksyd for 300 mm waferbehandling

St.Ceras 12-tommers vakuumchuck er presisjonskonstruert av 99,8 % høyrens aluminiumoksyd (Al₂O₃) for håndtering av wafere på 300 mm. Chucken har en fint rillet overflate (rillebredde 0,5–1,0 mm, stigning 2–3 mm) for å sikre jevn vakuumfordeling over hele diameteren på 300 mm. Flatheten opprettholdes innenfor 5 μm, noe som muliggjør vridningsfri waferfiksering under terning, baksidesliping og inspeksjon. Materialets høye bøyestyrke (361 MPa) og hardhet (16 GPa) garanterer langsiktig dimensjonsstabilitet selv under gjentatte vakuumsykluser.

Spesifikasjoner (basert på 99,8 % Al₂O₃):

Bruksområder:

300 mm wafer-terning og -risting
Sliping av baksiden av skiven (støtte for tynn skive)
Optisk inspeksjon og sondering
Midlertidige lime-/avbindingschucker

Produksjon:

CNC-slipt og lappet til endelig planhet, rillet med diamantskiver, ultralydrenset og pakket i et renrom i klasse 100. Hver chuck er 100 % inspisert for planhet (laserinterferometer) og spordybde (profilometer).

Fordeler:

Lav partikkelgenerering (≤0,05 partikler/cm²)

Kjemisk inert mot løsemidler og syrer

ESD-sikker overflate (resistivitet >10¹³ Ω·cm)

Tilpassede vakuumhullmønstre og bakporter tilgjengelig.