Høyrenhets keramisk robotarm av aluminiumoksid for waferhåndtering
St.Ceras robotarm av aluminakeramikk er presisjonskonstruert av 99,8 % høyrenhets Al₂O₃ (alumina). Den kombinerer eksepsjonell bøyestyrke (361 MPa), høy hardhet (16 GPa) og lav tetthet (3,93 g/cm³), noe som resulterer i en lett, men stiv arm for overføring av halvlederskiver. Materialets termiske utvidelseskoeffisient (7,2 × 10⁻⁶/°C) samsvarer tett med silisium, noe som minimerer termisk uoverensstemmelse under prosessering.
Spesifikasjoner (basert på 99,8 % Al₂O₃):
| Eiendom | Verdi |
| Farge | Elfenbein |
| Tetthet | 3,93 g/cm³ |
| Bøyestyrke | 361 MPa |
| Vickers-hardhet | 16 GPa |
| Youngs modul | 380 GPa |
| Termisk konduktivitet | 32 W/m·k |
| Termisk ekspansjon | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Dielektrisk styrke | 15×10⁶ V/m |
Bruksområder:
- Vakuumwaferoverføringsroboter (200 mm/300 mm)
- Atmosfæriske håndteringssystemer
- Endeeffektorarmer for FAB-automatisering
Produksjonsprosess:
Isostatisk pressing → grønn maskinering → sintring ved 1600 °C → CNC-presisjonssliping → ultralydrengjøring → renromspakking i klasse 100. Hver arm er 100 % inspisert av CMM for planhet (±0,01 mm) og overflateruhet (Ra ≤0,4 μm).
Kvalitetskontroll:
St.Cera er ISO 9001:2015-sertifisert. Vi utfører penetreringstesting av fargestoff for mikrosprekker, trepunktsbøying for bøyestyrke og dielektrisk styrketest i henhold til ASTM D149.
Fordeler fremfor metallarmer:
- 50 % lettere enn rustfritt stål
- Ingen galvanisk korrosjon
- Lavere partikkelgenerering (≤0,05 partikler/cm²)
- ESD-sikkert belegg tilgjengelig (10⁶–10⁹ Ω/kvadrat)
Tilpasning:
Lengder fra 150 mm til 450 mm, spissformer (kantgrep, Bernoulli, vakuum) og monteringsflensmønstre i henhold til OEM-tegninger. Prototyper på 2 uker.
For bulkbestillinger, vennligst be om et pristilbud.
