Waferhåndtering Keramisk Arm Presisjonskeramiske Komplekse Former
Kort beskrivelse:
Unngå partikler som kan dannes fra skråkanten eller de vinklede kantene og bakoverflaten mens wafere transporteres eller er i kontakt med endeeffektoren/håndteringsarmen.
For føringene er det brukt et mykt materiale som ikke skader waferen.
Tynning er mulig med ST.CERAs innebygde vakuumkanalteknologi som ikke bruker lim.
Mulig å lage monteringshull og endre lengden og bredden på basen der endeeffektoren/håndteringsarmen er montert på roboten.
Montering av sensorer, skruer og braketter er tilgjengelig som tilleggsutstyr.