Silisiumkarbid (SiC) keramisk endeeffektor – høy stivhet for håndtering av høytemperaturwafere
St.Ceras SiC keramiske endeeffektor er produsert av høyrens silisiumkarbid (SiC-innhold 99,72 %, fritt Si 0,05 %) ved bruk av S1111-materialet. Den tilbyr eksepsjonelle mekaniske egenskaper: bøyestyrke 449 MPa (målt), elastisitetsmodul 457 GPa (målt) og Vickers-hardhet 25–28 GPa (typisk). Den lave tettheten (3,10–3,15 g/cm³, typisk) gir en høy spesifikk stivhet, ideell for høyhastighets waferoverføringsroboter. Med en varmeledningsevne på 120–150 W/m·K (typisk) og en termisk ekspansjonskoeffisient på 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ (typisk), avleder denne endeeffektoren effektivt varme og opprettholder dimensjonsstabilitet under håndtering ved høy temperatur (opptil 1600–1700 °C, uten belastning). Den svarte/grå fargen og null vannabsorpsjon sikrer kompatibilitet med renrom.
Spesifikasjoner(basert på levert SiC S1111 testrapport og typiske verdier)):
| Eiendom | Verdi |
| Materiale | SiC (99,72 % SiC, 0,05 % fritt Si) |
| Farge | Svart/Grå |
| Tetthet | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Vannabsorpsjon | 0% |
| Bøyestyrke | 449 MPa (gjennomsnitt) |
| Bruddseighet | 3,12 MPa·m¹/² (gjennomsnitt) |
| Elastisitetsmodul | 457 GPa |
| Vickers-hardhet | 25–28 GPa |
| Varmeledningsevne (25 °C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000 °C) | 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ |
| Maks. brukstemperatur (uten belastning) | 1600–1700 °C |
Bruksområder:
● Håndtering av høytemperaturwafere (ettergløding, RTP, epitaksi)
● Plasmaetsningskamre som krever høy erosjonsmotstand
● Høyhastighets overføringsroboter (lette, høy stivhet)
Produksjon:
Sintring av SiC-pulver → presisjons-CNC-sliping av armprofil og monteringsfunksjoner → overflatesliping → ultralydrengjøring. 100 % dimensjonsinspeksjon og heliumlekkasjetest for vakuumapplikasjoner.
Kvalitetskontroll:
● CMM-inspeksjon av lengde, bredde og flathet
● Bøyestyrketest per batch (i henhold til testrapportstandard)
● Visuell inspeksjon under mikroskop for overflatefeil
Fordeler fremfor aluminiumoksid eller metall:
● 2 ganger høyere elastisitetsmodul (457 vs. ~380 GPa for alumina) – mindre nedbøyning
● 3 ganger høyere varmeledningsevne – raskere varmeavledning
● Tåler >1600 °C mot aluminas 800 °C i luft
● Lavere tetthet enn stål – 40 % vektreduksjon
Tilpasning:
Lengder 150–450 mm, spissformer (kantgrep, Bernoulli, flat), monteringsflensmønstre i henhold til OEM-tegning.
*Alle mekaniske data ovenfor kommer fra den medfølgende testrapporten (batch S1111). Termiske verdier og hardhetsverdier er typiske for denne SiC-kvaliteten. Ta kontakt med oss for batchspesifikk sertifisering.*
