Alumina keramisk endeeffektor med integrerte vakuumkanaler
St.Ceras vakuumendeeffektor av alumina integrerer presisjonsmaskinerte vakuumkanaler og sugehull direkte inn i den 99,8 % høyrente aluminakroppen. Denne designen eliminerer eksterne vakuumputer, noe som muliggjør direkte waferopptak med jevn holdekraft. Materialets høye bøyestyrke (361 MPa) og hardhet (16 GPa) sikrer langsiktig dimensjonsstabilitet under gjentatte vakuumsykluser. Flatheten over puteområdet opprettholdes innenfor 10 μm, noe som forhindrer waferstress og brudd. Vakuumporter er plassert på den bakre monteringsflensen for enkel integrering med OEM-robotarmer.
Spesifikasjoner(basert på 99,8 % Al₂O₃):
| Eiendom | Verdi |
| Materiale | 99,8 % alumina (elfenben) |
| Tetthet | 3,93 g/cm³ |
| Bøyestyrke | 361 MPa |
| Vickers-hardhet | 16 GPa |
| Youngs modulus | 380 GPa |
| Termisk ekspansjon | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Puteflathet | ≤10 μm |
| Vakuumkanalbredde | 0,5–2,0 mm |
| Maks. driftstemperatur | 800°C |
Bruksområder:
● Vakuumopptak av tynne eller skjeve skiver
● Direkte waferhåndtering uten kantgrep
● Overføring av solceller og LED-substrat
Produksjon:
Sintret aluminaemne → 5-akset CNC-boring av vakuumkanaler og hull → overflatelapping → ultralydrengjøring → heliumlekkasjetest. Hver effektor er 100 % strømningstestet for vakuumuniformitet.
Fordeler:
● Ingen eksterne vakuumputer (reduserer partikkelkilder)
● Jevnt holdetrykk forhindrer merking på skiven
● Kjemisk inert og kompatibel med renrom
