ESD-sikre aluminiumoksidkeramiske deler for håndtering av statisk følsomme skiver
St.Ceras ESD-sikre (elektrostatisk utladning) keramiske deler av alumina er produsert av 99,8 % høyrent Al₂O₃ med en skreddersydd overflatemotstand på 10⁶–10⁹ Ω/kvadrat, oppnådd gjennom en proprietær doping- eller beleggprosess. Disse delene avleder effektivt statisk ladning og forhindrer elektrostatisk skade på sensitive halvlederskiver og -enheter. Basismaterialet beholder sin høye bøyestyrke (361 MPa), hardhet (16 GPa) og dielektriske styrke (15×10⁶ V/m). ESD-sikre keramiske deler inkluderer endeeffektorer, løftepinner, føringsskinner og tilpassede inventar for FAB-automatisering.
Spesifikasjoner(basert på 99,8 % Al₂O₃ med ESD-behandling):
| Eiendom | Verdi |
| Basismateriale | 99,8 % aluminiumoksid |
| Overflatemotstand (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/kvadrat |
| Tetthet | 3,93 g/cm³ |
| Bøyestyrke | 361 MPa |
| Vickers-hardhet | 16 GPa |
| Youngs modulus | 380 GPa |
| Termisk ekspansjon (25–1000 °C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Maks. driftstemperatur | 800°C |
| Dielektrisk styrke (bulk) | 15×10⁶ V/m |
Merk: ESD-overflatemotstand er ikke oppgitt i de medfølgende materialegenskaperstabellene. Ovennevnte område er industristandard for dissipativ keramikk. Ta kontakt med oss for testrapporter.
Bruksområder:
● ESD-sikre endeeffektorer for waferoverføring
● Jordingspinner og ESD-armaturer i FAB-utstyr
● Testkontakter for statisk følsomme enheter
● Renromsverktøy der statisk kontroll er kritisk
Produksjon og kvalitet:
Standard aluminabehandling + ESD-overflatebehandling → overflateresistivitet målt i henhold til ANSI/ESD STM11.11. Hver del er 100 % testet med en konsentrisk ringelektrode.
Fordeler:
● Forhindrer ESD-relatert utbyttetap
● Opprettholder keramikkens mekaniske styrke og kjemiske motstand
● Ingen partikkelgenerering fra statisk utladning
