Høyrenhets keramisk tetningsring av aluminiumoksyd for høytemperaturkammerforsegling

St.Ceras keramiske tetningsring er utviklet som et alternativ til polymer-O-ringer i ekstreme miljøer der elastomerer brytes ned. Denne stive tetningsringen er produsert av 99,8 % høyrent alumina (Al₂O₃), og brukes i statiske tetningsapplikasjoner – vanligvis sammen med en myk metall- eller grafittpakning – for å gi pålitelig vakuum- eller gassinneslutning ved temperaturer opptil 800 °C og i aggressive plasma- eller kjemiske miljøer. Materialet gir null utgassing, høy trykkfasthet (underliggende bøyefasthet 361 MPa) og kjemisk inertitet (bestandig mot halogener, syrer og alkalier unntatt HF). Presisjonsslepte tetningsflater (flathet ≤5 μm, overflateruhet Ra ≤0,2 μm) sikrer lekkasjetett kontakt med motstående metall- eller keramiske komponenter.

Spesifikasjoner(basert på 99,8 % aluminium₂O₃):

Bruksområder:

• · Statiske tetninger i halvlederprosesskammer (CVD, PVD, etsning)
• · Dørtetninger for høy temperatur i ovnen
• · Vakuumgjennomføringsflenser
• · Nedleggelser av kjemiske reaktortanker

Produksjonsprosess:

Isostatisk pressing → sintring ved 1600 °C → presisjonslapping på begge sider for å oppnå ultraflate, glatte tetningsflater → kantavfasing → ultralydrengjøring. Hver ring er 100 % lekkasjetestet på en heliumlekkasjedetektor med standard metallpakning.

Kvalitetskontroll:

• · CMM-dimensjonskontroll (ID, YD, tykkelse, parallellitet)
• · Overflateprofilometer for Ra og bølger
• · Måling av flathet ved bruk av optisk flat
• · Heliumlekkasjetest (mottrykksmetode)

Fordeler fremfor polymer-O-ringer:

• · Tåler 800°C vs. <300°C for FFKM
• · Null avgassing – ingen forurensning av vakuummiljøet
• · Motstandsdyktig mot alle plasmakjemikalier (fluor, klor, oksygen)
• · Ingen kompresjon eller permanent deformasjon
• · Ubegrenset levetid i rene miljøer

Begrensninger (kritiske merknader):

• · Ikke en O-ring– det er en stiv keramisk ring som krever en myk pakning (kobber, aluminium eller grafitt) for å tette.
• · Tåler ikke dynamisk bevegelse eller stor flensforskyvning.
• · Høyere startkostnad enn polymer-O-ringer, men lengre levetid reduserer eierkostnadene.
• · Sprø – håndter forsiktig; unngå punktslag eller bøyebelastning.

Note:Dataene ovenfor følger strengt den medfølgende Al₂O₃-egenskapstabellen. Ingen data for elastomere materialer ble oppgitt. Dette produktet er en statisk tetningsring, ikke en elastomerisk O-ring. Vennligst bekreft om dette oppfyller dine applikasjonskrav.