-
ST.CERA Tilpasset halvlederutstyr Keramiske chucker
Den kritiske prosessen i halvlederfeltet må utføres i renrom, spesielt for enheter som skal brukes under forhold med høy temperatur, vakuum og korrosiv gass. Keramikk kan opprettholde høy stabilitet i kompliserte fysiske og kjemiske miljøer.
-
ST.CERA Tilpasset halvlederutstyr Keramisk plate
De kritiske prosessene i halvlederfeltet må utføres i renrom, spesielt for enheter som skal brukes under forhold med høy temperatur, vakuum og korrosiv gass. Keramikk kan opprettholde høy stabilitet i kompliserte fysiske og kjemiske miljøer.
-
ST.CERA Tilpasset halvleder Keramisk fokusring
Den kritiske prosessen i halvlederfeltet må utføres i renrom, spesielt for enheter som skal brukes under forhold med høy temperatur, vakuum og korrosiv gass. Keramikk kan opprettholde høy stabilitet i kompliserte fysiske og kjemiske miljøer.
-
ST.CERA tilpasset 99,5 % alumina keramisk lastearm
En keramisk endeeffektor/håndteringsarm er installert på en waferhåndteringsrobot eller «endeeffektorer» og brukes til å føre silisiumskiver inn i eller ut av kassetter eller prosesskamre.
Fordelene med å bruke keramikk er reduksjon av nedbøyning på grunn av høy bøyestyrke, motstand mot høye temperaturer og eliminering av metallforurensning og partikler. -
ST.CERA tilpasset alumina keramisk endeeffektor
ST.CERA tilbyr ESD-belegg og ESD-keramisk materiale. End Effector er laget av høyrens aluminapulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish. Den kan nå en dimensjonstoleranse på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1 og temperaturmotstand på 1600 ℃.
-
ST.CERA tilpasset halvleder keramisk fokusring
De keramiske reservedelene er laget av høyrent alumina-keramikk (over 99,5 %), dannet ved kald isostatisk pressing og sintret under høy temperatur, deretter presisjonsbearbeidet og polert. De keramiske reservedelene kan oppfylle alle strenge krav til halvlederutstyr med sine egenskaper som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, lav termisk ekspansjon og isolasjon.
Med egenskaper som høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, slitestyrke og isolasjon, kan keramikk fungere i mange typer halvlederproduksjonsutstyr med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass i lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
-
ST.CERA tilpasset halvleder presisjonsalumina keramisk foring
De keramiske reservedelene er laget av høyrent alumina-keramikk (over 99,5 %), dannet ved kald isostatisk pressing og sintret under høy temperatur, deretter presisjonsbearbeidet og polert. De keramiske reservedelene kan oppfylle alle strenge krav til halvlederutstyr med sine egenskaper som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, lav termisk ekspansjon og isolasjon.
Med egenskaper som høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, slitestyrke og isolasjon, kan keramikk fungere i mange typer halvlederproduksjonsutstyr med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass i lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
-
ST.CERA tilpasset aluminiumoksid keramisk vakuum-endeeffektor
Dette er en keramisk endeeffektor/håndteringsarm av bretttypen som brukes under vakuum.
Keramisk endeeffektor/håndteringsarm er «mer varmebestandig», «mindre avbøyelig» og «lettere» i vekt sammenlignet med metallarmene.
Med egenskaper som høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, slitestyrke og isolasjon, kan keramikk fungere i mange typer halvlederproduksjonsutstyr med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass i lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
-
ST.CERA tilpassede keramiske rør og stenger av 99,5 % alumina
Med egenskaper som høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, slitestyrke og isolasjon, kan keramikk fungere i mange typer halvlederproduksjonsutstyr med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass i lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
-
ST.CERA tilpasset håndtering av keramiske endeeffektorskiver med alumina
ST.CERA tilbyr ESD-belegg og ESD-keramisk materiale, en endeeffektor/håndteringsarm med innebygd hul kanal. Vi spesialiserer oss på en teknikk som danner en vakuumluftkanal inne i et enkelt materiale uten bruk av lim.
Det er ingen risiko for forurensning, utgassing eller partikler. ST.CERAs vakuum-endeeffektor/håndteringsarm med spesiell beleggteknologi er elektrisk isolert. Vi kan også tilby ESD-keramisk materiale som er elektrisk isolert uten belegg.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃. -
Komponenter for halvlederutstyr for endeeffektorer i aluminiumoksidkeramikk
Unngå partikler som kan dannes fra skråkanten eller de vinklede kantene og bakoverflaten mens wafere transporteres eller er i kontakt med endeeffektoren/håndteringsarmen.
For føringene er det brukt et mykt materiale som ikke skader waferen.
Tynning er mulig med ST.CERAs innebygde vakuumkanalteknologi som ikke bruker lim.
Mulig å lage monteringshull og endre lengden og bredden på basen der endeeffektoren/håndteringsarmen er montert på roboten.
Montering av sensorer, skruer og braketter er tilgjengelig som tilleggsutstyr.
Beregnet for bruk i atmosfæren.
-
Tilpasset CNC-maskinering av St.Cera keramisk endeeffektor
ST.CERA tilbyr en vakuumkeramisk endeeffektor/håndteringsarm med en innebygd hul kanal. Vi spesialiserer oss på en teknikk som danner en vakuumluftkanal inne i et enkelt materiale uten bruk av lim.
Det er ingen risiko for forurensning, utgassing eller partikler. ST.CERAs vakuum-endeeffektorer/håndteringsarmer med innebygd kanal er slitesterke og kan brukes ved høye temperaturer. Dessuten kan produksjonskostnadene våre reduseres ved å eliminere unødvendig montering.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
