-
Keramiske deler av høypresisjons keramiske ringer av aluminiumoksid
Keramiske reservedeler dannes ved kald isostatisk pressing og sintres under høy temperatur, deretter presisjonsmaskineres og poleres, og kan oppfylle alle strenge krav til halvlederutstyr med sine egenskaper som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, lav termisk ekspansjon og isolasjon. Keramikk kan brukes i mange typer halvlederproduksjonsutstyr under forhold med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass over lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
-
ST.CERA tilpassede keramiske chucker for halvlederutstyr
Keramiske reservedeler dannes ved kald isostatisk pressing og sintres under høy temperatur, deretter presisjonsmaskineres og poleres, og kan oppfylle alle strenge krav til halvlederutstyr med sine egenskaper som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, lav termisk ekspansjon og isolasjon. Keramikk kan brukes i mange typer halvlederproduksjonsutstyr under forhold med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass over lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
-
Silisiumkarbid (SiC) keramisk endeeffektor – høy stivhet for håndtering av høytemperaturwafere
St.Ceras SiC keramiske endeeffektor er produsert av høyrens silisiumkarbid (SiC-innhold 99,72 %, fritt Si 0,05 %) ved bruk av S1111-materialet. Den tilbyr eksepsjonelle mekaniske egenskaper: bøyestyrke 449 MPa (målt), elastisitetsmodul 457 GPa (målt) og Vickers-hardhet 25–28 GPa (typisk). Den lave tettheten (3,10–3,15 g/cm³, typisk) gir en høy spesifikk stivhet, ideell for høyhastighets waferoverføringsroboter. Med en varmeledningsevne på 120–150 W/m·K (typisk) og en termisk ekspansjonskoeffisient på 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ (typisk), avleder denne endeeffektoren effektivt varme og opprettholder dimensjonsstabilitet under håndtering ved høy temperatur (opptil 1600–1700 °C, uten belastning). Den svarte/grå fargen og null vannabsorpsjon sikrer kompatibilitet med renrom.
-
Silisiumkarbid (SiC)-basert vakuumchuck for høytemperatur- og plasmamiljøer
St.Ceras SiC-baserte keramiske chuck er produsert av høyrens silisiumkarbid (batch S1111, SiC 99,72 %, fritt Si 0,05 %). Den har en målt bøyestyrke på 449 MPa, en bruddseighet på 3,12 MPa·m¹/² og en elastisitetsmodul på 457 GPa. Materialets typiske varmeledningsevne (120–150 W/m·K) og lave varmeutvidelse (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) muliggjør rask temperaturøkning og minimal wafer-vridning under termisk sykling. Chucken kan konfigureres som en porøs vakuumchuck (jevn gasstrøm) eller en rillet standardchuck. Med en maksimal brukstemperatur på 1600–1700 °C (uten belastning) og eksepsjonell plasmaerosjonsmotstand, er denne chucken ideell for høytemperatur-waferprosessering (gløding, RTP) og aggressive etsekamre der alumina-chucker brytes ned.
-
Keramiske reservedeler til halvlederutstyr Keramiske bærere
Keramiske reservedeler dannes ved kald isostatisk pressing og sintres under høy temperatur, deretter presisjonsmaskineres og poleres, og kan oppfylle alle strenge krav til halvlederutstyr med sine egenskaper som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, lav termisk ekspansjon og isolasjon. Keramikk kan brukes i mange typer halvlederproduksjonsutstyr under forhold med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass over lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
-
Metallbelagt keramisk slipering av alumina for sliping med høy stivhet
St.Ceras metallbaserte alumina-slipering kombinerer et keramisk slitesjikt av høy renhet av alumina (99,8 % Al₂O₃) med et presisjonsmaskinert metallbakside (vanligvis aluminium eller rustfritt stål). Denne hybriddesignen gir den eksepsjonelle slitestyrken og kjemiske inertiteten til keramikk på slipeflaten, mens metallbasen gir mekanisk styrke, enkel montering og motstand mot sprøbrudd. Aluminalaget har en bøyestyrke på 361 MPa, Vickers-hardhet på 16 GPa og termisk stabilitet opptil 800 °C. Metallbasen er tilpasset med monteringshull, posisjoneringspinner eller magnetiske egenskaper for integrering i lappemaskiner, planetslipere og CMP-utstyr.
-
Keramiske reservedeler for halvlederprobestasjonsutstyr
Keramiske reservedeler dannes ved kald isostatisk pressing og sintres under høy temperatur, deretter presisjonsmaskineres og poleres, og kan oppfylle alle strenge krav til halvlederutstyr med sine egenskaper som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, lav termisk ekspansjon og isolasjon. Keramikk kan brukes i mange typer halvlederproduksjonsutstyr under forhold med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass over lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
-
Tilpasset behandling av Al2O3 keramisk waferchuck
Keramiske reservedeler dannes ved kald isostatisk pressing og sintres under høy temperatur, deretter presisjonsmaskineres og poleres, og kan oppfylle alle strenge krav til halvlederutstyr med sine egenskaper som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, lav termisk ekspansjon og isolasjon. Keramikk kan brukes i mange typer halvlederproduksjonsutstyr under forhold med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass over lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
-
ST.CERA tilpasset keramisk plate for halvlederutstyr
Keramiske reservedeler dannes ved kald isostatisk pressing og sintres under høy temperatur, deretter presisjonsmaskineres og poleres, og kan oppfylle alle strenge krav til halvlederutstyr med sine egenskaper som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, lav termisk ekspansjon og isolasjon. Keramikk kan brukes i mange typer halvlederproduksjonsutstyr under forhold med høy temperatur, vakuum eller korrosiv gass over lang tid.
Laget av høyrens aluminiumoksydpulver, bearbeidet med kaldeisostatisk pressing, høytemperatursintring og presisjonsfinish, kan den nå dimensjonstoleranser på ±0,001 mm, overflatefinish Ra 0,1, temperaturmotstand 1600 ℃.
-
12-tommers vakuumchuck av aluminiumoksyd for 300 mm waferbehandling
St.Ceras 12-tommers vakuumchuck er presisjonskonstruert av 99,8 % høyrens aluminiumoksyd (Al₂O₃) for håndtering av wafere på 300 mm. Chucken har en fint rillet overflate (rillebredde 0,5–1,0 mm, stigning 2–3 mm) for å sikre jevn vakuumfordeling over hele diameteren på 300 mm. Flatheten opprettholdes innenfor 5 μm, noe som muliggjør vridningsfri waferfiksering under terning, baksidesliping og inspeksjon. Materialets høye bøyestyrke (361 MPa) og hardhet (16 GPa) garanterer langsiktig dimensjonsstabilitet selv under gjentatte vakuumsykluser.
-
Alumina keramisk endeeffektor med integrerte vakuumkanaler
St.Ceras vakuumendeeffektor av alumina integrerer presisjonsmaskinerte vakuumkanaler og sugehull direkte inn i den 99,8 % høyrente aluminakroppen. Denne designen eliminerer eksterne vakuumputer, noe som muliggjør direkte waferopptak med jevn holdekraft. Materialets høye bøyestyrke (361 MPa) og hardhet (16 GPa) sikrer langsiktig dimensjonsstabilitet under gjentatte vakuumsykluser. Flatheten over puteområdet opprettholdes innenfor 10 μm, noe som forhindrer waferstress og brudd. Vakuumporter er plassert på den bakre monteringsflensen for enkel integrering med OEM-robotarmer.
-
ESD-sikre aluminiumoksidkeramiske deler for håndtering av statisk følsomme skiver
St.Ceras ESD-sikre (elektrostatisk utladning) keramiske deler av alumina er produsert av 99,8 % høyrent Al₂O₃ med en skreddersydd overflatemotstand på 10⁶–10⁹ Ω/kvadrat, oppnådd gjennom en proprietær doping- eller beleggprosess. Disse delene avleder effektivt statisk ladning og forhindrer elektrostatisk skade på sensitive halvlederskiver og -enheter. Basismaterialet beholder sin høye bøyestyrke (361 MPa), hardhet (16 GPa) og dielektriske styrke (15×10⁶ V/m). ESD-sikre keramiske deler inkluderer endeeffektorer, løftepinner, føringsskinner og tilpassede inventar for FAB-automatisering.
